1、以栴檀、自檀、紫檀陳沉木，熏陸郁金香，龍腦香，零陵沉香等，放于干凈的石上磨成泥狀制作香水，放于干凈的容器中。 
　　
　　2、以好的土做檀，可以方可以圓，大小皆可隨之變化上置浴床中間安置佛像。
　　
　　3、浴佛以其香湯沐浴，再以清水重沐，所用之水必須干凈。
　　
　　4、兩指取香水自頂上灌，此水又稱吉祥水。
　　
　　5、手要輕，不要讓凈水濺出腳踩。
　　
　　6、用軟毛巾將佛像拭凈，并燒好香，遍熏四方。